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DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)
DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)

產(chǎn)品型號(hào): DH-500ZZS

所屬分類(lèi):頻譜分析儀

產(chǎn)品時(shí)間:2016-08-25

簡(jiǎn)要描述:DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)該鍍膜機(jī)為前開(kāi)門(mén)箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,該鍍膜機(jī)功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。

詳情介紹

DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)

該鍍膜機(jī)為前開(kāi)門(mén)箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,該鍍膜機(jī)功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。

  鍍膜機(jī)的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造,工藝規(guī)范、精致,具有高真空度、高清潔度,可以保證材料的成膜純度。

  采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機(jī)械泵機(jī)組,具有抽速快、無(wú)油、操作方便快捷、易于維護(hù)的特點(diǎn)。配備270°E型電子束蒸發(fā)源,電源穩(wěn)定,控制精度高,帶有高壓自動(dòng)滅弧復(fù)位裝置,操做簡(jiǎn)便,性能可靠。

  適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。

   鍍膜室體積:500mmX500mmX600mm;

   極限真空度:6.7X10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7X0-4 Pa (40分鐘);

   真空抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵與分子泵組成;

   真空測(cè)量系統(tǒng):數(shù)顯復(fù)合真空計(jì);

   蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源:E型電子槍?zhuān)β?~6KW可調(diào);電阻蒸發(fā)源:功率3kW/10V兩組;

   工件烘烤溫度:室溫~350℃可控可調(diào)(PID控溫);

   選配件:光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x、石英晶振測(cè)厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等;

   供電電源:三相AC380V,50Hz。

   特殊規(guī)格可定制。

DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)

 LDZX-75KAS  LDZX-75KB  LDZX-50KAS  LDZX-50FB LDZX-50FA YA.ZD-20 YA.ZD-5 CH1006 TU-100C  DU-20  HHS-21-6 HH.S11-8  B-220 HH.S11-1



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